SEMICON KOREA 2019 :
La preuve que la précision peut être très compacte

La fabrication des semi-conducteurs est un exemple d’application où la mesure de positions doit être à la fois précise, fiable et dynamique. C’est justement pour cette raison que HEIDENHAIN a présenté des solutions innovantes au salon SEMICON KOREA, établissant ainsi de nouveaux standards dans l’industrie :

Les systèmes de mesure LIP 6000 de HEIDENHAIN, MC 15 de RSF et LIKgo de NUMERIK JENA sont les systèmes de mesure linéaire les plus compacts de leur catégorie :

  • Résolution : jusqu’à 1 nm, 0,05 µm ou 1 µm
  • Grande flexibilité de montage dans des espaces réduits
  • Têtes captrices de petites dimensions
  • Mesures dynamiques à des vitesses de déplacement élevées et sous de fortes accélérations

Le système VULCANO XY d’ETEL est un système d’entraînement hautement intégré en forme de portique. Il fait ses preuves dans des applications qui nécessitent à la fois une dynamique et une précision de positionnement particulièrement élevées.

Ses caractéristiques et avantages :

  • Faibles coûts d’entretien
  • Systèmes de mesure angulaire optiques haute résolution de HEIDENHAIN intégrés
  • Conception modulaire évolutive, par exemple en ajoutant un système d’isolation actif QuiET pour isoler les vibrations