Baureihe LIP/LIF zum Einsatz im Hoch- und Ultrahochvakuum

TypBasisabweichungTeilungsträger und MontageInterpolations-abweichungMesslänge
Genauigkeits-klasseim Intervall
LIP 481V
LIP 481U
± 0,5 μm
± 1 μm

≤ ± 0,175 μm/ 5 mm

Maßstab aus Zerodur-Glaskeramik oder Glas, mit Spannpratzen geklemmt

± 7 nm70 mm bis 420 mm
LIF 481V± 3 μm≤ ± 0,225 μm/ 5 mm ± 12 nm70 mm bis 1020 mm
LIC 4113 V
LIC 4193 V
±1 μm (nur für Robax-Glaskeramik) ±3 μm
±5 μm
≤ ±0,275 μm/10 mmMETALLUR-Gitterteilung auf Glaskeramik oder Glas ± 20 nm240 mm bis 3040 mm