Systèmes de mesure linéaire à règle nue
Les systèmes de mesure à règle nue équipent les machines et installations qui nécessitent une précision élevée de la valeur de mesure. Domaines d'application classiques:
- Appareillages de production et de mesure dans l'industrie des semi-conducteurs
- Machines à implanter les composants
- Machines et appareillages d'ultra-haute précision
- Machines-outils de très haute précision
- Machines de mesure, comparateurs, microscopes de mesure, autres appareils de précision en métrologie
- Entraînements directs
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Les systèmes de mesure à règle nue LIC permettent une mesure absolue sur un déplacement important jusqu’à 27 m, à de grandes vitesses de déplacement. Le montage et les dimensions sont identiques au LIDA 400. |
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Les systèmes de mesure à règle nue LIP se caractérisent par des incréments de mesure extrêmement fins avec de très grandes précisons et reproductibilités. Ils fonctionnement selon le principe de balayage interférentiel. Le support de la mesure est un réseau de phase DIADUR. |
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Les systèmes de mesure à règle nue LIF disposent d’un support de mesure SUPRADUR et fonctionnent selon le principe de balayage interférentiel. Ils possèdent une grande précision et reproductibilité. Le montage est particulièrement simple. Ils disposent de fins de course et d’une piste Homing. La version spéciale LIF 481 V peut fonctionner dans un vide jusqu’à 10–7 bar (voir information produit séparée). |
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Les systèmes de mesure à règle nue LIDA sont particulièrement adaptés aux vitesses de déplacement élevée jusqu’à 10m/s. Leurs différentes possibilités de montage les rendent d’une utilisation particulièrement flexible. En fonction de la version, le support du réseau de phase METALLUR est un ruban en acier, en verre ou en vitrocéramique. Ils disposent d’un commutateur fin de course. |
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Le système de mesure à deux coordonnées PP possède en tant que support de mesure une structure de réseau de phase plane DIADUR. Il fonctionne suivant le principe de balayage interférentiel. Il est donc possible de mesurer la position dans le plan. |
Structure mécanique
Les systèmes de mesure linéaire à règle nue sont constitués d'une règle ou d'un ruban de mesure et d'une tête captrice qui fonctionnent sans contact mécanique. Sur les systèmes de mesure linéaire à règle nue, la règle de mesure est fixée sur une surface d'appui. Par conséquent, il est indispensable de disposer d'une grande planéité de la surface d'appui pour garantir la précision élevée du système de mesure linéaire.
Systèmes de mesure linéaire à règle nue