Offene Längenmessgeräte

Offene Längenmessgeräte kommen an Maschinen und Anlagen zum Einsatz, die eine hohe Genauigkeit des angezeigten Messwerts erfordern.
Typische Einsatzgebiete sind:

  • Fertigungs- und Messeinrichtungen der Halbleiter-Industrie
  • Bestückungsautomaten
  • Ultrapräzisions-Maschinen und -Apparaturen
  • hochgenaue Werkzeugmaschinen
  • Messmaschinen und Komparatoren, Messmikroskope und andere Präzisionsgeräte der Messtechnik
  • Direktantriebe

Absolute Messgeräte

BaureiheBeschreibung
LICDie offenen Längenmessgeräte LIC ermöglichen eine absolute Positionserfassung über große Verfahrwege bis 28 m bei ebenfalls hoher Verfahrgeschwindigkeit. Sie entsprechen in Montage und Abmessungen dem LIDA 400.

Messgeräte mit Positionswert-Ausgabe

BaureiheBeschreibung
LIP 200Die inkrementalen Längenmessgeräte LIP 211 und LIP 291 geben die Positionsinformationen als Positionswert aus. Hierzu werden im Abtastkopf die sinusförmigen Abtastsignale hoch interpoliert und über die integrierte Zählerfunktion in einen Positionswert gewandelt. Der absolute Bezug erfolgt, wie bei allen inkrementalen Messgeräten, mit Hilfe von Referenzmarken.

Inkrementale Messgeräte

BaureiheBeschreibung
LIP

Für höchste Genauigkeit

Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnen sich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als Maßverkörperung ein DIADUR-Phasengitter.

LIF

Für hohe Genauigkeit

Die offenen Längenmessgeräte LIF verfügen über eine im SUPRADUR-Verfahren hergestellte Maßverkörperung und arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip. Sie besitzen eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, lassen sich besonders einfach montieren und verfügen über Limit-Schalter und Homing-Spur. Die spezielle Version LIF 481 V kann im Hochvakuum bis 10–7 bar eingesetzt werden (siehe separate Produktinformation).

LIDA

Für hohe Verfahrgeschindigkeiten und große Messlängen

Die offenen Längenmessgeräte LIDA eignen sich besonders für hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis 10 m/s. Sie sind durch die verschiedenen Montagemöglichkeiten besonders flexibel einsetzbar. Je nach Version dienen Stahlmaßbänder, Glas oder Glaskeramik als Träger für METALLUR-Gitterteilungen. Sie verfügen über einen Limit-Schalter.

PP

Für Zwei-Koordinaten-Messung

Das Zwei-Koordinaten-Messgerät PP besitzt als Maßverkörperung eine im DIADUR Verfahren hergestellte flächige Phasengitterstruktur die interferentiell abgetastet wird. Dadurch ist die Positionserfassung in der Ebene möglich.

LIP/LIF

Zum Einsatz im Hoch- und Ultrahockvakuum

Im Grob- und Feinvakuum können die Standardmessgeräte von HEIDENHAIN eingesetzt werden. Im Hoch- und Ultrahochvakuum werden spezielle Anforderungen an die Messgeräte gestellt. Design und verwendete Materialien müssen speziell darauf abgestimmt sein. Weitere Informationen sind in der Technischen Information Längenmessgeräte zum Einsatz im Vakuum zusammengefasst.

Speziell für den Einsatz im Hoch- bzw. Ultrahochvakuum sind folgende offene Längenmessgeräte angepasst: 

• Hochvakuum: LIP 481 V und LIF 481 V

• Ultrahochvakuum: LIP 481 U